にゃんべい

元半導体技術者。

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[にゃんべい @poly_poly01]

@arafifniharuwo とても勉強なりました。ありがとうございます。

[にゃんべい @poly_poly01]

@arafifniharuwo ご指導ありがとうございます。

あと、思いつくのは
ソース・ドレインのアルミ配線を広げてSINからの水素拡散をブロックする
ぐらいかな。これでダメなら悔しいけどギブアップです。

[にゃんべい @poly_poly01]

@arafifniharuwo SIN上にポリイミド付ければ改善できるかな？

[にゃんべい @poly_poly01]

@arafifniharuwo 間違った。ジクロロシランではなく、ジシラン。(ユニット詳しくないので適当です)

[にゃんべい @poly_poly01]

@arafifniharuwo この場合、対策はどうすればいいのかな？
SIN形成を、シランではなく、ジクロロシランとかにすれば水素を減らせる？

[にゃんべい @poly_poly01]

@arafifniharuwo キーワードは
・シンタリング効果(プラズマSiNからの水素による酸化膜界面のターミネート効果)
・BTI
だと思う。
ただ、BTIはNchは変動小でPchの変動の方が大きいと思うのだが、なぜこの問題はNch？
BTIはゲート酸化膜が(窒化していない)ピュア酸化膜でも起きるのかな？