09Laser404

レーザーと真空装置関連に目がない。レーザーと真空装置と一緒に生活しています。基本的に実験製作記録になっているっぽい〜 #09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

せっかくなので、TMPも動作確認

EDWARDS EXT 75DX

ちゃんと動作するね!
押し当てて撮影してるから音大きいけど、実際は家で使ってもかなり静かな子だよ

TMPはビジュアルも動作音も最高に良い…

#09L4_2025実験製作記録

[09Laser404 @09Laser404]

動作OK

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

とりあえず大丈夫そう

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

解体して超音波洗浄

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

オイルバックしたRPのオイルなのか、TMPのオイルなのか最早分からないね…

PFEIFFERの動画を見る感じだと、こんなにオイルは入ってないので、RPのオイルである可能性が高いね…

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

@matpsy_6022 ジャンクの旧型HiCubeのTMPなんですが、RPのオイル臭が凄かったです…

ただ排気ユニットでRPのON, OFFやパージは制御されているはずで、何故オイルバックしたのか疑問です…
(PfeifferのRPは逆止弁も付いていたような…)

バルブが故障していたか、制御切っていたのかな…

[09Laser404 @09Laser404]

TMPのオイル漬け…

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

ローターとステーター
これが90000 rpmで回っている

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

ICF70 GVだけど、ICF70フランジじゃないGV

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

アルコールもかけたんだけどな…
かけ方が甘かったか…
代わりあるから、真っ先に変えるべきでもあった…

ガスケットも使い回してるからリーク要因が多い…

無事に1e-3 Pa台にすぐ入るようになった!
感電もなし!

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

TMP回転数Maxになるけど3 Paまでしか下がらなくて…

フランジ締め直したり、アルコールかけたりしてリーク探ししても見つからず…(音聞こえないレベル)

やっと原因見つけた…
断線してなく、Oリングだから多少傷や歪みあってもいけると思っていたらダメだった…

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

CCGで感電した件

なんか腑に落ちないな〜と思ってたら、やっぱりコントローラー側でアース取っていた！

ただモデルによってはネジがPEEK?で、アースが取れないみたい
また、ネジをきちんと締めておかないとアースが取れない

スッキリした〜

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

ミニミニスペースチャンバー

加熱処理用で仮設

#09L4_2026

[Very Parts @veryniceparts]

ザー
ターボ分子ドーナツ
v560¥(g)

[09Laser404 @09Laser404]

数年前にボントンで買って、使っていなかったアース線で、アースを接続した

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

@veryniceparts 動かないHiPace80が1つあるので、そちらのを使いました…

[09Laser404 @09Laser404]

本日の成果

約3 kVに10回くらい感電して、貴重なTC110を破壊しました⭐︎

チャンバーも含めて、アース接続はきちんと確認しましょう…

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

レーザー…綺麗…

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

至福の時間…
TMPの音を聞き、圧力が下がっていくのを眺めながら、次の構想を考える…

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

古い機種の冷却ファンが使えるように、簡易的な変換を作製

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

古い機種の冷却ファンが使えるように、変換を簡単に作成

#09L4_2026

[09Laser404 @09Laser404]

ということで、チャンバーアース接続をちゃんとするまでB-Aに変更

この光がいつみても良いね…

あと、TC110は一つ故障させてしまったけれど、HiPace80は無事で良かった…

#09L4_2026