リソグラフィエンジニアの戯言

半導体前工程のイエロールームに10年余。ものすごく狭いのに果てしなく広大な生産技術のあるあるを言語化してみるテスト。たまに棚卸してnote化してます↓

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

工場におけるボトルネック、についての私考です。「ボトルネックは動くのだ」という言葉に惑わされないで、というお話です。

仮の話として半導体前工程ラインのキャパ設計をしてみる。話を思いっきりシンプルにするために

・単一製品(全30層)
・20ロット(x25枚)/日

を作るラインがほしいとする(1/n

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

そのネジは、金属光沢を帯びていた。
稼働中の、高温炉の底。

緊張走る。

即座に張られるトラテープ非常線。
発見時点から時を止めた生産指図。
眠りから叩き起こされたIPC-MS。
誰からともなく確定された深夜業。
文責定まらぬ白い品質異常報告書。

#クリーンルームであった本当に怖い話ポヨ

[かんてん @kanten_se]

これ笑った😂

半導体装置メーカー勤務として補足すると

「ネジ1本変えたらタダじゃ済まさんぞ」は
本当に言われる。

装置の再現性が命なので
勝手に変更したら最悪ラインが止まる。

書類1万枚は誇張じゃなくて
変更管理のプロセスが
本当にそれくらいある。

製造業の「現場あるある」が
全部詰まってる。

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

製造会社が請負側に求めるものは「成果物」なのでそのプロセスは（極論）求めません。ただし発注側が用意した標準書通りに作らないと「成果物ができあがらない」ようになっています。これこそが製造技術であり、それをタスクとして落とし込んだものがオペレーションです。

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

このレチクルの例はオペレーションに対する姿勢の最たるものです。上市に対して様々な判断があったにせよ、将来のシェア変動や後続機のスペックでどれほどのOpexがかかりうるか誰か計算したのかな。逆さまのやつ一枚作ればいいってものじゃないんですよね..
https://t.co/jHGSD4Rx2o

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

「Nikonスキャナはレチクル方向が異なる」

これは従来の縮小投影レチクルに対しNikonのArF液浸だけが「レチクルを左右反転にレイアウトしなければならない」という制約を持つことを指します。2028年上市予定のNikon新型機、これは投影レンズ枚数により「ASMLとコンパチ化」を狙うものです。（少し続く

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

大村社長の記事然り、ハード価格に訴求しようとする姿勢から脱却できないのは日本のメーカー特有の喫緊課題と思います。付随する無数のオペレーション（限られたcompatibilityの設備にどれだけfit gapのコストをかけるか, etc）に売る側も買う側も真摯になる必要があるし言語化もされてない気がします

[🌿 lithos @lithos_graphein]

Long-post re: Nikon Immersion Scanner Pricing.

This is probably the most insignificant aspect. The price is almost irrelevant to the commercial specs on these machines. Many fab demos have been done to compare ASML vs. Nikon, and as it stands, both are great if a fab is using one or the other.

The problem arises when you try to align a layer on a Nikon back to a layer patterned with an ASML. The hardware is different, and to achieve an ~1 nm scale pattern overlay, this makes all the difference. Even for a single vendor, there are subsets of tools in a fab that are matched, and product lots moving through the factory stay inside the matched set.

Nikon's immersion scanners are already priced a double-digit % below ASML's equivalent offering. And this makes no difference in Nikon's declining market share for immersion. At the top/right you can see their sales history and forecast—for 2026 their forecast is zero. Overlay is king, and even fractions of a nanometer difference equate to billions of dollars in yield loss over the lifetime of a fab part.

The success of Nikon's plan hinges on being able to match ASML's scanners that dominate the scanner fleets in today's fabs. They released this plan in their Q3 2025 report (bottom/right). They intended to develop a completely new immersion scanner platform that's designed to be matched with an ASML scanner.

Here are the two major changes to the tool design:

1) New Projection Lens: The masks used for today's Nikon scanner actually can't even be shared with ASML. The reason is the mask image is inverted differently through the lens and onto the wafer. They will redesign their lens to now match ASML mask mirroring.

2) New Wafer Stage: The overlay signature for the wafer stage hardware needs to be corrected. This is why different vendors can't be matched, and even different stages from the same vendor can't be matched well, leading to fabs using sets of scanners instead of allowing lots to use any scanner.

If they can pull this off and achieve reasonable matching to ASML, we will see many fabs again running demos to compare them head to head; if anything, to better negotiate VPAs with ASML. It's still an uphill battle; remember, even a full line of ASML immersion scanners are broken down into matched sets for yield reasons.

There are many tricks to achieve better overlay beyond scanner matching. Increasing the amount of metrology for alignment (before/inside the scanner) and overlay (after the image is patterned) is one of them. Nikon recently revealed their launch plan for the Litho Booster alignment metrology tool. This tool is part of their scanner-matching strategy and is another fab CapEx and cycle-time cost on top of the scanner price.

On China's domestic immersion scanners: We hear a lot of speculation that SMEE is shipping their immersion litho tools, and it's already "in production." Think about this tool-matching issue Nikon has and how that might play into the reality of these statements. Nikon already makes immersion scanners that are just as good as AMSL's, and yet they are shipping zero in a year when there is record demand for these machines.

In fact. SMEE is trying to make a scanner that was discontinued by ASML 15 years ago. What home does a scanner with these specs have in a fab? Every fab in China can still buy an NXT:1965Di directly from ASML—plug and play into its production line. What fab will eat the yield loss, allowing product to pass through a domestic tool? Why would a fab even install a tool that is the equivalent to a discontinued tool from another vendor?

It's easy to make comparisons to other fab tooling like etch and deposition and then speculate that the same thing applies to the scanner. But these don't have nearly the same degree of tool-matching needs the lithography bay requires.

Fun fact: Overlay is the #1 yield killer for every fab and every single chip made today. It's the only thing left in the defect Pareto after everything else is fixed.

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

ポテチ袋のデザインは最表面の透明なOPP（延伸プロピレン）フィルムの「裏側」に印刷されており、さらにアルミ蒸着フィルムとCPP（無延伸プロピレン）フィルムの積層構造になってて主要な機能は何も変わらないものと思う。まあコンビニや薬局のPB品はすでに少色デザインだし。
https://t.co/sNHzFwfk9n

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

半導体チップの保管期限は、アルミバッグの水蒸気透過率（WVTR: Water Vapor Transmission Rate）に材料定数やバリア厚さを放り込むと計算できます。期限過ぎても一度開封→ベークしてリセットもできます。この管理を怠るとリプロー密着性異常が起こり得るのでパワー半導体では致命的になります。

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

結論、2色だった（公式）
https://t.co/zTbXEeCaeZ

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

カルビーのポテチパッケージの件、インクが白黒の２色になるという話じゃなくて、モノトーン（地のアルミ色＋1色）になることと思ってたのだけど、違うの？多層膜だから正確にはもうちょっと複雑ではあるのだけども。
https://t.co/BzOgih6mjW

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

（シロクロと聞くと「正反どっちだ」と思案してしまう習性）
https://t.co/fVhSpkHlpw

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

どこまで理不尽が通るかを見極めるためのスタディです（ウソです

[苅和 @kariwa815]

マスク屋に理不尽を言わなそうなエンジニアさんだ

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

承認じゃなく就任ですごめんなさい！

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

横浜国立大学の井上史大先生、今年の4月から教授に承認されました！（本ポスト、昨年の記事の引用であることは理解しております）

[Laser & Semiconductor manufacturing bot @Optical_bot]

「後工程から日本の半導体を盛り返したい」…横浜国立大准教授が3D集積技術に挑む | #ニュースイッチ @newswitch_ https://t.co/iMTFD9PBQs

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

半導体デバイス用フォトマスクの作り方についてそれなりリアル感あるまとめになってる思うので、関心ある方は参考にされてください（誰向け

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

フォトマスク製造技術のお話。

リソの楽しさでもありしんどさでもあるのは、他プロセスにはない様々な上流工程との連携。その一つにマスク製造技術との関係があります。

四角いガラスマスク製造を把握するための視点は、大きく2つです。

いつも通り基本技術の説明は枚挙に暇がないので割愛します→

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

マスク描画とウェーハ露光の違いが私は好きです。過去はレガシー10kVのEB、そこからレーザーの市民権が各レイヤーに浸透していった時期の思い出が強い

さすがに混流では出来栄え差がレーザーテックとKLAでモロバレなので、あくまで段階的に

※過去にEB・レーザー描画の対比を書きました。酒の肴に
↓

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

フォトマスク製造技術のお話。

リソの楽しさでもありしんどさでもあるのは、他プロセスにはない様々な上流工程との連携。その一つにマスク製造技術との関係があります。

四角いガラスマスク製造を把握するための視点は、大きく2つです。

いつも通り基本技術の説明は枚挙に暇がないので割愛します→

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

Covid混迷前夜、🇸🇪スェーデンMicronic社が半導体デバイスマスクとディスプレイマスクを統一レーザー描画プラットフォーム化するとの報道

あれから7年、ハイエンドEBの実績上昇でシェア変動しつつもEB &レーザーの構図はほぼ変わらない

旧世代マイクロミラー保守がどこまで耐えうるかの局面であろうか

[Laser & Semiconductor manufacturing bot @Optical_bot]

半導体産業では年間約60万枚のフォトマスクが製造されていますが、70～75%はレーザーのマスク描画装置によって描かれたローエンド品です。このように、レーザーマスク描画装置は、半導体の製造において現在でも非常に重要な存在です。 https://t.co/Vy59cX5WVI @cisionから

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

タバコの副流煙はサブミクロン径で、一般のCRクリーンルーム用フィルタ吸着のほぼ狙い目のサイズであるため、あっという間に吸着飽和&破過します（なのでダメ）。一方で同等サイズの浮遊異物挙動を把握するという調査目的としてはわかりやすい方法でした

[千鳥足権左衛門 @qND7CCrwhs55530]

これ実際ダメなんかな

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

@Etekichi7 プシューwww

[nabe@人柱🦆𝕏 @Etekichi7]

ちょｗｗｗ
プシューｗ

https://t.co/162fuh1HWP

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

手頃な粉塵サンプルでダウンフローチェックする半導体エンジニア
#クリーンルームであった本当に怖い話ポヨ

[情報収集専用垢なので基本呟かないでも呟くときは発作が起きたと思ってくださいポヨ @Johoshushupopo]

室内の空気の流れを見るにはタバコの副流煙がお勧めですが、蚊取線香でも同等の効能が得られる🦆🍖ポヨ
#クリーンルームであった本当に怖い話ポヨ

タバコ ・蚊取線香 ・線香による空気汚染 - J-Stage https://t.co/x3EqLkSGsK

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

漫画化決定？
#クリーンルームであった本当に怖い話ポヨ

[イプチェ @IpceAkitovski]

ふと思ったんだが、こんな感じの「ギャル研究者・エンジニア」のあるある日常エッセイとかあったらおもろいなー、分野毎に

[リソグラフィエンジニアの戯言 @ProbablyClass1]

PAD下の耐荷重構造眺めるの好き

[テカナリエ清水 @techanalye1]

PAD下