田中 秀治 / Shuji Tanaka

東北大学 ロボティクスコース 教授 / IEEE Fellow / 日本機械学会 フェロー / MEMS Engineer Forum 代表 / 自動車部 部長 / JST ACT-X 研究総括 / 「近代技術史学」講義担当 / 日経xTECHに執筆 / 山口県出身 / MEMS、半導体、産業史などについてポスト

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

寺町博さんは日本トムソンとTHKの2社を上場させた稀代の技術者で経営者。一方、寺町さんは伝説の相場師としても有名であり、商品先物や株式投資に巨額を投じた。日本トムソンを追われたのも、THKの社長を長男に禅譲することになったのも、この趣味で大損したため。とにかくスケールの大きな人だった。

[ものづくり太郎 @monozukuritarou]

THKと日本トムソンは、(確か)同じ創業者やで、、

寺町さんがつくった企業というのはFA業界では有名な話ですな。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

村田機械の特許出願にあるグリッド形OHTの機構例。搬送台車に4つの車輪があり、2つずつ1本のレールに乗っている。各車輪は90°方向を変えられるようになっていて、レールの交差点で直交するレールに乗り換えられる。これと同じ機構のものかは不明だが、グリッド形OHTはラピダスのファブに入っている。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

情ポヨさんによる半導体工場の自動化の解説はプロの目線からなので、勉強になります。今、気になるのは後工程の自動化、ラピダスでの短TATのためのグリッド搬送など。9月14日の情ポヨ特別セミナーで聞けるかは、その時の気分次第？この図はMEMSにも使う200 mmのレガシーファブに見られる自動化の例。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

情ポヨさんの特別セミナーを東北大学・青葉山キャンパスで開催します。SEMI規格とは、先端半導体製造の現状、日本政府の半導体戦略、情ポヨ作成の謎資料より、半導体工場のクリーンルームといったトピックをお聞きしていますが、どのようなお話を聞けるかは当日のお楽しみ。
https://t.co/0zdHBG9fkl

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

情ポヨさんによる半導体工場の自動化の解説はプロの目線からなので、勉強になります。今、気になるのは後工程の自動化、ラピダスでの短TATのためのグリッド搬送など。9月14日の情ポヨ特別セミナーで聞けるかは、その時の気分次第？この図はMEMSにも使う200 mmのレガシーファブに見られる自動化の例。

[情報収集専用垢なので基本呟かないでも呟くときは発作が起きたと思ってくださいポヨ @Johoshushupopo]

こ、これは・・ポヨ！

Tanaka Shuji MEMS Lab
https://t.co/e5biRbkOHY

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

Lady Gagaのキスマークが付いたティーカップのキスマークが退色しないのはパリレンHTによってコーティングされているから。これは私のMEMS講義の定番ネタ。パリレンは室温で気相成膜できるポリマーで、付き回り性・ガスバリア性・撥水性・絶縁性に優れ、電子機器や医療機器の保護膜によく使われる。

[wawaw waaawwtwwnbnnw hyhyhyeeeehheeewww @na_be_yo_uuu]

東北歴史博物館の研究紀要に、2013年に宮城県に寄贈されたレディーガガのキスマーク＋サイン入りカップの保存についての研究が。保存はいろいろ大変だ。

磁器面に塗布された口紅および油性インキに対する保存の試行
芳賀 文絵さん

PDFページ47ページから
https://t.co/AQaVMfMc08

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

ファーウェイの“Tau Scaling Law”に関係してかどうかは不明だが、同社はBesi、Piotech、およびiSABersのハイブリッドボンダーを使っているとのこと。iSABersは東京大学・須賀唯知研究室で学んだ母鳳文さんが2020年に創業したスタートアップで、短期間に多くの接合装置をラインアップして凄い勢いだ！

[Zephyr @zephyr_z9]

As far as I know, they are using hybrid bonders from Besi, Piotech, ISabers

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

IEEE Milestoneに認定された旭化成エレクトロニクスのホール素子はマイカに蒸着されたInSb薄膜を出発材料にしています。そこからチップまでは容易に真似できない驚きの工程であり、延岡市のFAB1で年間十億個規模の製品が量産されています。これは電子コンパスに使われる磁気センサーとは別物です。

[🐇 @1p_semicon]

つい昨日、旭化成のホール素子とホールICについてふと気になって勉強していました。
投資価値以前にアナログ半導体は不可欠な存在、アナログ半導体がないと投資価値があると言われる種類の半導体も動かないので、これから深掘りしていきたいです🐇

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

効率的に冷やすなら2相冷却の方が良いのではとコメントを頂きました。確かに2層冷却の熱伝達率は数千～数万W/m2Kと大きいのですが、冷媒に水を使うと約100℃にしか冷えません。そこで、フッ素系液体、たとえば、3MのNovecやFluorinertを使うことになりますが、高価である上にPFASの問題があります。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

NVIDIAのVera Rubinラックの消費電力は約220 kWらしい。これを8台繋いでCDUで冷やすと1.8 MWの冷却能力が必要。冷却水の出入りの温度差が6℃だとすると流量は71 L/sになり、3秒で風呂の水張りが完了。上水道並みに流速2 m/sだとすると、直径150 mm（150A）の太い配管が2本必要だと風呂の中で考えた。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

林芳正総務大臣、衆参の総務委員長の古川康議員・古川沙織議員らのご列席の下、MEMSの研究開発への貢献で志田林三郎賞を頂きました。志田林三郎は明治21年に日本で初めて工学博士となった5人の1人で電気学会の創設者。36歳で早世し、青山霊園に眠っています。日本電気の第3代社長だった長男らと共に。

[総務省 @MIC_JAPAN]

令和８年６月１日、林総務大臣は、電波の日・情報通信月間記念中央式典（ホテルニューオータニ）に出席し、式辞を述べるとともに、電波利用の発展に多大な功績があった方に対し、お祝いの言葉を掛けながら「電波の日」及び「情報通信月間」総務大臣表彰の表彰状を授与しました。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

NVIDIAのVera Rubinラックの消費電力は約220 kWらしい。これを8台繋いでCDUで冷やすと1.8 MWの冷却能力が必要。冷却水の出入りの温度差が6℃だとすると流量は71 L/sになり、3秒で風呂の水張りが完了。上水道並みに流速2 m/sだとすると、直径150 mm（150A）の太い配管が2本必要だと風呂の中で考えた。

[情報収集専用垢なので基本呟かないでも呟くときは発作が起きたと思ってくださいポヨ @Johoshushupopo]

田中先生の近しい方からチクりで連絡が取れたポヨ♪
仙台の夜を楽しむ準備は出来ているポヨ！

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

旭化成エレクトロニクス・FAB2の火災は、この図のようにスプレー式酸・アルカリ洗浄装置から発生。これが丸焼けになったこともあり、出火原因の特定には至らず。仕様上、筐体部材は難燃性樹脂のはずだが、火災後の調査でそうなっていなかったことも判明。これが中古装置だったため責任はうやむやに。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

爆発・火災は炭鉱以外でも他人事ではない。最近では旭化成に爆発・火災事故が多い。2020年6月、守山製造所（守山市）で爆発。2020年10月、旭化成エレクトロニクスの半導体工場（延岡市）で火災。2022年3月、カヤク・ジャパンの東海工場（延岡市）で爆発。2022年4月、ベンベルグ工場（延岡市）で火災。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

圧電駆動されるMEMS冷却ファンの適用先はモバイル、車載、エッジAIなどの低パワーかつ小形のシステムです。単素子の実冷却能力は数W程度ですので、これでAI半導体を冷やすことはできません。AI半導体は液冷の守備範囲ですが、そこにはマイクロ流路が使われます。ここにFrore Systemsの例を示します。

[拖拉机 @tuolaji2024]

据说，华为Mate90预计启用MEMS微泵，手机、PC、AI终端会率先启用，AI基础设施跟上。

那么问题来了利好散热，液冷今天大涨，不是盲目传导了？

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

爆発・火災は炭鉱以外でも他人事ではない。最近では旭化成に爆発・火災事故が多い。2020年6月、守山製造所（守山市）で爆発。2020年10月、旭化成エレクトロニクスの半導体工場（延岡市）で火災。2022年3月、カヤク・ジャパンの東海工場（延岡市）で爆発。2022年4月、ベンベルグ工場（延岡市）で火災。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

「日本の炭鉱の歴史＝災害を克服した歴史」ある炭鉱の保安統括者の言葉だ。明治32年の豊国炭鉱・ガス炭塵爆発（死者210名）に始まり、昭和38年の三井三池炭鉱・炭塵爆発（同458名）、昭和40年の三井山野炭鉱・ガス爆発（同237名）、その後も昭和60年まで大きなパネルを埋め尽くす程の大事故があった。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

MEMS冷却ファンの研究開発はいろいろな所で取り組まれている。これはFrore Systemsが先鞭を付けたもので、圧電材料でフィンを振動させて空気を送り込む。公開されているMEMS冷却ファンで最も良くできているものの1つはxMEMS Labsのもの。この映像にあるように金魚鉢ポンプ並みに空気が流れる。

[Zephyr @zephyr_z9]

They have developed a MEMS-based cooling fan to deal with the heat for Kirin SoCs

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

「日本の炭鉱の歴史＝災害を克服した歴史」ある炭鉱の保安統括者の言葉だ。明治32年の豊国炭鉱・ガス炭塵爆発（死者210名）に始まり、昭和38年の三井三池炭鉱・炭塵爆発（同458名）、昭和40年の三井山野炭鉱・ガス爆発（同237名）、その後も昭和60年まで大きなパネルを埋め尽くす程の大事故があった。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

5月22日に発生した通洲集団留神峪炭鉱のガス爆発事故。生産（採炭・選炭）技術では日本より進んでいる中国から釧路コールマインになぜ研修に来るのか。保安技術と合わせて安全意識を学びに来るのだろう。ガス監視・早期警報システムが先進的でも安全性より生産性・収益性が優先されれば、意味がない。
Google Earthで通洲集団留神峪炭鉱の航空写真の時系列を辿り、最新の2022年3月の様子と今回の報道映像とを比べてわかることは、選炭工場などが増強され、ズリ（ボタ）捨場が山のより高い所に広がって生産が強化されている様子。同炭鉱は主に原料炭（コークスの材料）を生産し、出炭量は年120万トン。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

5月22日に発生した通洲集団留神峪炭鉱のガス爆発事故。生産（採炭・選炭）技術では日本より進んでいる中国から釧路コールマインになぜ研修に来るのか。保安技術と合わせて安全意識を学びに来るのだろう。ガス監視・早期警報システムが先進的でも安全性より生産性・収益性が優先されれば、意味がない。
Google Earthで通洲集団留神峪炭鉱の航空写真の時系列を辿り、最新の2022年3月の様子と今回の報道映像とを比べてわかることは、選炭工場などが増強され、ズリ（ボタ）捨場が山のより高い所に広がって生産が強化されている様子。同炭鉱は主に原料炭（コークスの材料）を生産し、出炭量は年120万トン。

[Sputnik 日本 @sputnik_jp]

【中国北部の炭鉱で爆発事故、82人死亡】

❗️中国・山西省長治市の沁源県にある炭鉱で22日夜7時半ごろ、爆発事故が発生。82人が死亡、約10人が行方不明となっている。中国中央電視台（CCTV）が伝えている。

事故当時、坑内には247人の作業員がいた。

現場では捜索・救助活動が続けられており、関係当局が爆発の原因を調査している。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

MEMS業界でシリコンキャパシターは急成長している製品だ。これで三星電機が1兆5千億ウォンの契約とは凄い。昨日のポストにある特長だけでなく、シリコンゆえの加工性の良さからAI半導体向けのカスタム対応にも優れ、TSVも内蔵できる。A16世代で導入されるBSPDN（裏面電源供給）の利点も引き出せそう。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

少し古いスライドなのですが、シリコンキャパシターの一例を紹介します。Siウェーハに深いトレンチを加工し、poly-SiとSiO2/SiNを成膜します。低背で寄生LCが小さいシリコンキャパシターは高周波特性に優れ、その材料と製法から耐熱性と高温安定性にも優れます。IPDiAは村田製作所が2016年に買収。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

少し古いスライドなのですが、シリコンキャパシターの一例を紹介します。Siウェーハに深いトレンチを加工し、poly-SiとSiO2/SiNを成膜します。低背で寄生LCが小さいシリコンキャパシターは高周波特性に優れ、その材料と製法から耐熱性と高温安定性にも優れます。IPDiAは村田製作所が2016年に買収。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

SiTimeの新しい圧電タイミング共振子はどのように作っているのか。そのプロセスを勝手に推測してみたのがこのスライドです。共振子をリリースするための穴をエピポリシリコンで塞ぎ、内部空間に残留した水素は拡散排出します。エピタキシャルリアクターに圧電MEMSウェーハを投入する発想が驚きです。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

話題のSiTime製MEMSタイミングデバイスについて日経xTECHに記事を書きました。このスライドに示す従来製品は静電型共振子を採用していますが、iPhoneやNVIDIAのGPUに用いられている新しい製品は圧電型です。これがなぜ高い周波数安定性を示すのか、その技術的驚きはどこにあるのかを解説しています。

[田中 秀治 / Shuji Tanaka @mems6934]

話題のSiTime製MEMSタイミングデバイスについて日経xTECHに記事を書きました。このスライドに示す従来製品は静電型共振子を採用していますが、iPhoneやNVIDIAのGPUに用いられている新しい製品は圧電型です。これがなぜ高い周波数安定性を示すのか、その技術的驚きはどこにあるのかを解説しています。

[かも @R3000C]

AppleやNVIDIAも頼る　サイタイム、驚きのMEMSタイミング部品構造
https://t.co/ORS4Cq6QZ7

田中先生の専門分野、水晶デバイスを置き換えつつあるMEMS共振子の話。
タイミングデバイスってまだ進化するのかと。
ド素人には何度見ても、半導体プロセスでこんな立体構造を作り込むというのが信じ難い…